Helium(He)
Deuterium(D₂)
기타 가스
Feature
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01
99.9999%급의 초고순도 헬륨
- 우수한 비활성화 특성
- 낮은 불순물 농도
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02
다양한 공급형태
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고압 가스 및 액체 헬륨 형태로 제공 -
ISO컨테이너, Tube Trailer, Cylinder, Dewar 등 다양한 형태의 용기
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03
광범위한 적용 분야
- 반도체 생산을 위한 필수 가스
- 의료 분야 MRI 냉각
- 연구용
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04
균일한 품질
- 고급 정제 공정을 통해 일관된 품질 유지
- ICP-MS, GC 분석 등을 통한 품질 검증
기본 사양 정보표
6N급의 가스 및 5N급 액화헬륨
| 구분 | 5N Grade | 6N Grade | 6N Grade for Semiconductor |
| 순도 | ≤99.999% | ≤99.9999% | ≤99.9999% |
| O₂ | ≤2.0ppmv | ≤100ppbv | ≤100ppbv |
| N₂ | ≤3.0ppmv | ≤200ppbv | ≤200ppbv |
| CO | ≤0.5ppmv | ≤50ppbv | ≤50ppbv |
| CO₂ | ≤0.5ppmv | ≤50ppbv | ≤50ppbv |
| CH₄ | ≤1.0ppmv | ≤100ppbv | ≤100ppbv |
| H₂O | ≤3.0ppmv | ≤500ppbv | ≤500ppbv |
적용분야
케이씨인더스트리얼의 헬륨은 반도체, 의료, 연구 등 다양한 산업 분야에서 필수적으로 사용되는 고순도 가스입니다.
당사의 헬륨은 높은 순도를 자랑하며, 반도체 제조 과정에서의 냉각 및 비활성 가스로서 최적의 성능을 발휘합니다.
ISO 컨테이너, 튜브 트레일러, 실린더, 듀어 등 다양한 공급 방식을 통해 고객의 요구에 맞춘 안정적이고 효율적인 공급이 가능합니다.
Feature
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01
순도 99.999%급 99.8% 동위원소 농축
- 높은 동위원소 농도로 인한 신뢰성
- 고순도로 공정의 안정성 향상 기여
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02
다양한 공급형태
- 고압 가스 형태로 제공
- 요청시 고객 맞춤 형태로 공급
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03
광범위한 적용 분야
- 반도체 제조의 품질 극대화를 위한 가스
- 디스플레이의 안정성 개선에 기여
- 광섬유의 광학적 특성 개선에 기여
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04
균일한 품질
- 고급 정제 공정을 통해 일관된 품질 유지
- ICP-MS, GC 분석 등을 통한 품질 검증
기본 사양 정보표
신뢰 높은 고순도 중수소
| 구분 | 5N Grade |
| 순도 | ≤99.999% |
| O₂ | ≤0.5ppmv |
| N₂ | ≤5.0ppmv |
| CO | ≤1.0ppmv |
| CO₂ | ≤1.0ppmv |
| CH₄ | ≤0.1ppmv |
| H₂O | ≤1.0ppmv |
중수소 특징
| 구분 | H₂ | D₂ |
| Atomic Mass | 1.008 amu | 2.014 amu |
| 끓는점 | -252.8℃ | -249.7℃ |
| 어는점 | -259.2℃ | -254.4℃ |
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수소
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중수소
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삼중수소
적용분야
중수소는 반도체, 디스플레이, 광섬유 등 다양한 분야에서 필수적으로 사용되는 고순도 가스입니다.
특히 반도체 생산 중 정밀한 어닐링 제어를 위하여 사용 되며 중수소는 낮은 확산 속도를 통해 어닐링 과정에서 더 많은 제어를 가능하게 하며,
높은 안정성으로 결합 해리(bond dissociation)나 원치 않는 중수소 원자의 이동 가능성을 줄여줍니다.
특히 고온 어닐링 단계에서 중수소의 사용은 반도체 소자의 특성을 향상시켜 더욱 정밀한 제조 공정을 지원합니다.
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반도체
- Si-D 결합의 물리적 및 화학적 특성으로 인한 제조상의 장점
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디스플레이
- 프로튬-중수소 동위 원소의 운동으로 화학 분해 속도 지연
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광섬유
- OH에 비해 OD의 높은 생명 효율성 및 D₂에 의한 OH 생성 저감
취급 가스
저장탱크, Tube Trailer, Tank Lorry, LGC, Cylinder 등 다양한 공급 형태를 취하며 전국내 네트워크를 통하여 공급 가능
| 구분 | 가스 종류 |
| 조연성 가스 | O₂, N₂O |
| 불연성 가스 | Air, N₂, Ar, He, CO₂, Kr, Ne, SF6, CF4, Xe, CHF3, C2F6, C3F8, C4F8, C4F6, CH2F2, O3, NF3 |
| 가연성 가스 | H2, CH4, C2H2, D2, C2H4, C2H6, C3H6 |
| 독성 가스 | AsH3, B2H6, GeH4, PH3, SiH4, Si2H6, H2Se, Cl2, HCl, H2S, HBr, NH3, BF3, CO, SO2, C2H4O, F2, (CH3)3N, (CH)2NH, ClF3, CoCl2, COS |
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